? 光散射粒子計(jì)數(shù)器（用于粒徑大于或等于0.5 μm 的懸浮粒子計(jì)數(shù)）。

? 空氣中的懸浮粒子在光的照射下產(chǎn)生光散射現(xiàn)象，散射光的強(qiáng)度與懸浮粒子的表面積成正比。

在測(cè)試之前，要對(duì)潔凈室（區(qū)）相關(guān)參數(shù)進(jìn)行預(yù)先測(cè)試，這類(lèi)測(cè)試將會(huì)提供測(cè)試懸浮粒子的環(huán)境條件，這種預(yù)先測(cè)試或可包括：

a） 溫度和相對(duì)濕度的測(cè)試。潔凈室（區(qū)）的溫度和相對(duì)濕度應(yīng)與其生產(chǎn)及工藝要求相適應(yīng)（無(wú)特殊要求時(shí)，溫度在18 ℃～26 ℃，相對(duì)濕度在45%～65%為宜），同時(shí)應(yīng)滿足測(cè)試儀器的使用范圍；

b） 室內(nèi)送風(fēng)量或風(fēng)速的測(cè)試，或壓差的測(cè)試；

c） 高效過(guò)濾器的泄漏測(cè)試。

? 空態(tài)，靜態(tài)和動(dòng)態(tài)三種狀態(tài)均可進(jìn)行測(cè)試。

? 空態(tài)或靜態(tài)測(cè)試時(shí)，室內(nèi)測(cè)試人員不得多于2人。

? 測(cè)試報(bào)告中應(yīng)標(biāo)明測(cè)試時(shí)所采用的狀態(tài)和室內(nèi)的測(cè)試人員數(shù)。

? 在空態(tài)或靜態(tài)a測(cè)試時(shí)，對(duì)單向流潔凈室（區(qū)）而言，測(cè)試宜在凈化空氣調(diào)節(jié)系統(tǒng)正常運(yùn)行時(shí)間不少于10 min 后開(kāi)始；對(duì)非單向流潔凈室（區(qū)），測(cè)試宜在凈化空氣調(diào)節(jié)系統(tǒng)正常運(yùn)行時(shí)間不少于30 min后開(kāi)始。

? 在靜態(tài)b測(cè)試時(shí)，對(duì)單向流潔凈室（區(qū)），測(cè)試宜在生產(chǎn)操作人員撤離現(xiàn)場(chǎng)并經(jīng)過(guò)10 min自凈后開(kāi)始；對(duì)非單向流潔凈室（區(qū)），測(cè)試宜在生產(chǎn)操作人員撤離現(xiàn)場(chǎng)并經(jīng)過(guò) 20 min 自凈后開(kāi)始。

? 在動(dòng)態(tài)測(cè)試時(shí)，則須記錄生產(chǎn)開(kāi)始的時(shí)間以及測(cè)試時(shí)間。

在空態(tài)或靜態(tài)測(cè)試時(shí)，懸浮粒子采樣點(diǎn)數(shù)目及其布置應(yīng)力求均勻，并不得少于最少采樣點(diǎn)數(shù)目，采樣點(diǎn)布置規(guī)則見(jiàn)表1。在動(dòng)態(tài)測(cè)試時(shí)，懸浮粒子采樣點(diǎn)數(shù)目及其布置應(yīng)根據(jù)產(chǎn)品的生產(chǎn)及工藝關(guān)鍵操作區(qū)設(shè)置。

采樣點(diǎn)的位置應(yīng)滿足以下要求∶

a） 采樣點(diǎn)一般在離地面0.8 m高度的水平面上均勻布置。

b）采樣點(diǎn)多于5點(diǎn)時(shí)，也可以在離地面0.8 m～1.5 m高度的區(qū)域內(nèi)分層布置，但每層不少于5點(diǎn)。

對(duì)任何小潔凈室（區(qū)）或局部空氣凈化區(qū)域，采樣點(diǎn)的數(shù)目不得少于2個(gè)，總采樣次數(shù)不得少于5次。每個(gè)采樣點(diǎn)的采樣次數(shù)可以多于1次，且不同采樣點(diǎn)的采樣次數(shù)可以不同。

不同潔凈度級(jí)別每次最小的采樣量

? 對(duì)于單向流潔凈室（區(qū)），粒子計(jì)數(shù)器的采樣管口應(yīng)正對(duì)氣流方向；對(duì)干非單向流潔凈室（區(qū)）， 粒子計(jì)數(shù)器的采樣管口宜向上。

? 布置采樣點(diǎn)時(shí)，應(yīng)盡量避開(kāi)回風(fēng)口。

? 采樣時(shí)，測(cè)試人員應(yīng)在采樣口的下風(fēng)側(cè)，并盡量少活動(dòng)。

? 采樣完畢后，宜對(duì)粒子計(jì)數(shù)器進(jìn)行自凈。

? 應(yīng)采取一切措施防止采樣過(guò)程的污染。